• 1 、纳米技术（ nanotechnology ）• 1.1 纳米技术是用单个原子、分子制造物质的科学技术。• 1.2 纳米加工技术是实现纳米化的基础。一、纳米技术与微电子技术• 按加工方式：切削加工、磨料加工（分固结磨料和游离磨料）、特种加工和复合加工四类。• 几种新兴的纳米加工技术：化学合成方 法、 聚焦离子束技术、准分子激光直写纳米加工技术、纳米压印技术• 2 、微电子技术• 2.1 微...
第二章 半导体物理及器件物理基础 本节内容 半导体材料、基本晶体结构与共价键 能级与能带 本征载流子浓度 施主和受主导电性：固态材料可分为三类，即绝缘体、半导体及导体。绝缘体 : 电导率很低，约介于 10-18S/cm ～ 10-8S/cm, 如熔融石英及玻璃； 导 体：电导率较高，介于 104S/cm ～ 106 S/cm ，如铝、银等金属。半导体：电导率则介于绝缘体及导体之间。1...
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